Nieuw chipapparaat Twentse spinoff

Samenvatting

Laserdepositietechniek maakt het mogelijk om pieze-gevoelige laagjes op chips aan te brengen.
 

Nieuw chipapparaat Twentse spinoff

(23 mei 2011)    Solmates, een groep natuurkundigen gespecialiseerd in de laserdepositietechniek waarmee de Twentse universiteit kunstkristallen maakt met de grootste controle ter wereld, bouwde in vijf jaar het pasklare fabricage-apparaat Piezo-flare. Dit apparaat kan een wafer met een piezo-gevoelig laagje bedekken.
De piezolaagjes op wafer zijn laagjes die onder elektrische spanning bewegen en vervormen. Functionele onderdelen waarbij een spanning een beweging opwekt of omgekeerd, zoals pompjes, versnellingsmeters, printkoppen of beweegbare spiegeltjes maken nu nog gebruik van bulkmaterialen. Met deze piezocoatings kunnen de onderdelen geintegreerd worden behandeld bij het lithografisch etsen van chips. Grote elektronicabedrijven willen de Piezo-flare onder andere gaan gebruiken bij de fabricage van printkoppen die niet meer thermisch, maar piezo-elektrisch geregeld worden, en kleinere sensoren en actuatoren in tablets.

(Pieter J.T.Bruinsma, PA0PHB) 

Referenties, informatie:

Kennispark Twente



lll